英文名稱
Code for design of electronic industry clean room
批準部門
中華人民共和國住房和城鄉建設部
批準日期
2008年12月15日
施行日期
2009年7月1日
主編部門
中華人民共和國工業和信息化部
主編單位
中國電子工程設計院
參編單位
信息產業電子第十一設計研究院有限公司
上海電子工程設計研究院有限公司
深圳市電子院設計有限公司
中國電子系統工程第二建設有限公司
北京中瑞電子系統工程設計院
主要起草人
陳霖新?秦學禮 晁 陽 張利群 王唯國
侯 憶 穆京祥 趙 海 高艷敏 王毅勃
肖紅梅 李 杰 李錦生 路振福 章光護
鄒英杰 鐘景華 牛光宏 張曉敏 周志剛
陳 騮 焦明偉
1 總則
2 術語
3 電子產品生產環境設計要求
3.1 一般規定
3.2 生產環境設計要求
4 總體設計
4.1 位置選擇和總平面布置
4.2 潔凈室型式
4.3 潔凈室布置和綜合協調
5 工藝設計
5.1 一般規定
5.2 工藝布局
5.3 人員凈化
5.4 物料凈化
5.5 設備及工器具
6 潔凈建筑設計
6.1 一般規定
6.2 防火和疏散
6.3 室內裝修
7 空氣凈化和空調通風設計
7.1 一般規定
7.2 氣流流型和送風量
7.3 凈化空調系統
7.4 空氣凈化設備
7.5 采暖、通風
7.6 排煙
7.7 風管、附件
8 給水排水設計
8.1 一般規定
8.2 給水
8.3 排水
8.4 雨水
8.5 消防給水和滅火設備
9 純水供應
9.1 一般規定
9.2 純水系統
9.3 管材、閥門和附件
10 氣體供應
10.1 一般規定
10.2 常用氣體系統
10.3 干燥壓縮空氣系統
10.4 特種氣體系統
11 化學品供應
11.1 一般規定
11.2 化學品儲存、輸送
11.3 管材、閥門
12 電氣設計
12.1 配電
12.2 照明
12.3 通信與安全保護裝置
12.4 自動控制
12.5 接地
13 防靜電與接地設計
13.1 一般規定
13.2 防靜電措施
13.3 防靜電接地
14 噪聲控制
14.1 一般規定
14.2 噪聲控制設計
15 微振控制
15.1 一般規定
15.2 容許振動值
15.3 微振動控制設計
附錄A 各類電子產品生產對空氣潔凈度等級的要求
附錄B 電子產品生產間/工序的火災危險性分類舉例
附錄C 精密儀器、設備的容許振動值舉例
附錄D 潔凈室（區）性能測試和認證
本規范用詞說明
附：條文說明
目的：
為在電子工業潔凈廠房設計中，做到技術先進、經濟適用、安全可靠、節約資源、降低能耗、確保質量，并符合勞動衛生和環境保護的要求，制定本規范。
本規范適用于新建、擴建和改建的電子工業潔凈廠房設計。
3.2.5? 單向流和混合流潔凈室（區）的噪聲級（空態）不應大于65dB（A），非單向流潔凈室（區）的噪聲級（空態）不應大于60dB（A）。
4.3.3
1? 按火災危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產區段或房間之間，或有防火分隔要求時，應設隔墻；
5.4.2? 物料凈化用室與潔凈室（區）之間應設置氣閘室或傳遞窗。
5.5.6? 潔凈室（區）內設置真空泵時，應符合下列規定：
1? 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統；
2? 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統前應去除或稀釋可燃氣體組分；
3? 傳輸易燃、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統聯鎖。
6.2.1? 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。
6.2.6? 在綜合性廠房的一個防火分區內，潔凈生產區域與一般生產區域之間應設置不燃燒體隔斷設施。不燃燒體隔斷設施應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
6.2.7? 潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規定：
1? 每一生產層、每個防火分區或每一潔凈室的安全出口數目，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；
2? 安全出口應分散布置，并應設有明顯的疏散標志；安全疏散距離應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。安全疏散用門應向疏散方向開啟，并應設觀察玻璃窗；
3? 丙類生產的電子工業潔凈廠房，在關鍵生產設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規定的安全疏散距離的1.5倍。
注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產區人員密度小于0.02人/m2，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m。
6.2.8? 潔凈廠房的潔凈區各層外墻應設置專用消防口，并應符合下列規定：
1? 潔凈區各層專用消防口的設計，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定；
2? 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應作為專用消防口。
6.2.9? 潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。
6.3.1? 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現行國家標準《建筑內部裝修設計防火規范》GB 50222的有關規定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T 8627的有關規定。
7.1.6? 潔凈室（區）與周圍的空間應保持一定的靜壓差，靜壓差應符合下列規定：
1? 各潔凈室（區）與周圍空間的靜壓差應按生產工藝要求確定；
2? 不同等級的潔凈室（區）之間的靜壓差應大于等于5Pa；
3? 潔凈室（區）與非潔凈室（區）之間的靜壓差應大于5Pa；
4? 潔凈室（區）與室外的靜壓差應大于10Pa。
7.5.1? 空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室（區）不應采用散熱器采暖。
7.5.3
1? 應防止室外氣流倒灌；
2? 含有易燃、易爆物質的局部排風系統應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施；
4? 對含有水蒸氣或凝結物質的排風系統，應設置坡度及排放口；
5? 排風介質中含有劇毒物質時，應設置備用排風機和處理設備，并應設置應急電源；
6? 排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時，應設置備用排風機，并應設置應急電源；
7? 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統，其風量應按在正常運行和事故情況下，風管內爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20％計；
8? 排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風系統，應設置消除靜電的接地裝置。
7.5.4? 對排風系統中含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路，應保持相對于路由區域一定的負壓值。
7.5.6? 潔凈室（區）事故排風系統的設計，應符合下列規定：
1? 事故排風區域的換氣次數不應小于12次/h；
2? 應設置自動和手動控制開關，手動控制開關應分別設置在潔凈室（區）和潔凈室（區）外便于操作的地點；
3? 應設置應急電源。
7.6.1? 潔凈廠房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施。
7.7.2? 凈化空調系統風管的防火閥的設置，應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB 50073的有關規定。
含有可燃、有毒氣體或化學品的排風管道，不得設置熔片式防火閥。
7.7.7
2? 排煙系統的風管應采用不燃材料制作；
3? 附件、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。
8.3.1? 生產、生活排水系統應分別設置。生產排水系統應根據電子產品生產設備排出的廢水性質、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應經廢水處理達到國家或地方排放標準后排放。
8.3.2? 潔凈室（區）內與電子產品生產設備相連接的重力排水管道，應在排出口以下部位設置水封裝置。排水系統應有完善的通氣系統。
8.5.1? 潔凈廠房必須設置消防給水系統。消防給水系統的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016的有關規定。
8.5.2
1? 潔凈室（區）的生產層及上下技術夾層（不含不通行的技術夾層），應設置室內消火栓；
8.5.3
3? 存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施。
9.2.3
3? 不循環支管的長度不應大于管徑的6倍；
4? 干管應設置清洗口；
5? 管道系統必須密封，不得有滲氣現象；
10.1.5? 潔凈室（區）內的可燃氣體管道和有毒氣體管道應明敷，穿過潔凈室（區）的墻壁或樓板處的管段應設置套管，套管內的管道不得有焊縫，套管與管道之間應采取密封措施。
10.1.6? 可燃氣體管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當必須穿過時應設套管或雙層管。
10.1.7
2? 不得出現不易吹除的“盲管”等死空間；
3? 管道系統應設置吹掃口和取樣口。
10.1.8
1? 可燃氣體管道設置閥門時應設置閥門箱，閥門箱應設置氣體泄露報警和事故排風裝置，報警裝置應與相應的事故排風機聯鎖；
3? 引至室外的放散管，應設置防雷保護設施；
4? 應設置導除靜電的接地設施。
10.2.5? 氣體純化間（站）或氣體入口室內，設有氫氣等可燃氣體純化裝置或管道時，氣體純化間（站）或氣體入口室的火災危險性應按甲類確定，并應符合下列規定：
1? 應靠外墻設置，并應設置防爆泄壓設施；
2? 氫氣等可燃氣體引入管道上應設置自動切斷閥；
3? 應具有良好的自然通風，并應設置事故排風裝置；
4? 應設置氣體泄漏報警裝置，并應與事故排風裝置聯鎖；
5? 應設置導除靜電的接地設施。
10.2.6? 潔凈廠房內的氧氣管道等，應采取下列安全技術措施：
1? 管道及閥門、附件應經嚴格的脫脂處理；
2? 應設置導除靜電的接地設施；
3? 氧氣引入管道上應設置自動切斷閥。
10.4.2? 潔凈廠房內特種氣體的儲存分配間應采用耐火極限不低于2.0h不燃燒體的隔墻與潔凈室（區）分隔，隔墻上的門窗應為甲級防火門窗。
10.4.3
1? 特種氣體鋼瓶（含硅烷或硅烷混合物）應設置在具有連續機械排風的特氣柜中；
2? 排風機、泄漏報警、自動切斷閥均應設置應急電源；
3? 一個特氣分配系統供多臺生產設備使用時，應設置多路閥門箱；
10.4.5? 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應存放在潔凈廠房建筑外的儲存區內。儲存區的設置應符合下列規定：
1? 儲存區應至少三面敞開，氣瓶應固定在鋼制框架上；
2? 氣瓶或氣瓶組與周圍的構筑物或圍欄的間距應大于3.0m；
3? 儲存區頂棚的高度應大于3.5m。
11.2.1
1? 化學品儲存間（區）的儲量不應超過該化學品24h的消耗量；
2? 化學品應按物化特性分類儲存；當物化性質不容許同庫儲存時，應采用實體墻分隔；
3? 危險化學品應儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內，與相鄰房間應采用耐火極限大于1.5h的隔墻分隔；
5? 各類化學品儲存、分配間應設置機械排風。機械排風應采用應急電源；
6? 易爆化學品儲存、分配間，應采用不發生火花的防靜電地面；
7? 輸送易燃、易爆化學品的管道，應設置導除靜電的接地設施；
8? 接至用戶的輸送易燃、易爆化學品的總管上，應設置自動和手動切斷閥。
11.2.2? 潔凈廠房內采用容器傳送危險化學品時，應符合下列規定：
1? 嚴禁在出入口、疏散走廊儲存和分配危險化學品。潔凈廠房內運送易燃化學品的走廊應設置自動滅火系統；
2? 運送危險化學品的推車運載量不得超過250L；單個容器的容量不應超過20L；
3? 物理化學特性不相容的危險化學品不得采用同一推車運送。
11.2.3? 當采用壓力罐輸送危險化學品時，應符合下列規定：
1? 輸送系統設備、管道應采用與所輸送的化學品相容的材質；
2? 壓力罐應設置減壓通風口，減壓通風口的排氣管應接至安全區域；
3? 輸送系統應只容許采用氮氣增壓；
4? 在分配和使用處應設置手動切斷閥；
5? 應設置液位監控和自動關閉裝置，并應設置溢流應對設施。
11.2.5? 液態危險化學品的儲存、分配間，應設置溢出保護設施，并應符合下列規定：
1? 儲存罐或罐組應設置保護堤，保護堤堤內容積應大于最大儲罐的容積或20min消防用水量；保護堤的高度不應低于500mm；
2? 化學品相互接觸引起化學反應的可燃液體儲罐或罐組之間，應設置隔堤，隔堤不得滲漏；管道穿過隔堤時應采用不燃材料密封。隔堤高度不應低于400mm；
3? 應設置液體泄露報警裝置；
4? 應設置緊急淋浴和洗眼器。
11.3.1? 化學品供應系統管道材質的選用，應按所輸送化學品的物理化學性質確定，并應選擇化學穩定性能良好和相容性好的材料。
12.1.8? 潔凈廠房內，可燃氣體或液體的儲存、分配間的電氣設計，應根據可燃氣體或液體的特性確定，并應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。
12.2.3
1? 潔凈室（區）內應設備用照明；
12.2.4? 潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明，其照度不應低于5.0 lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉角處應設置疏散標志。在專用消防口應設置紅色應急照明指示燈。
12.3.2? 潔凈廠房應設置火災自動報警系統，其防護等級應符合現行國家標準《火災自動報警系統設計規范》GB 50116的有關規定。當防火分區面積超過現行國家標準《建筑設計防火規范》GB 50016規定的最大建筑面積允許值時，保護等級應為一級。
12.3.4
1? 潔凈生產區、技術夾層、機房、站房等均應設置火災探測器，其中潔凈生產區、技術夾層應設置智能型探測器；
3? 硅烷儲存、分配間（區），應設置紅外線-紫外線火焰探測器；
12.3.6? 潔凈廠房內下列場所應設置氣體泄漏報警裝置：
1? 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間（區）；
2? 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內；
3? 工藝設備的氣體分配箱和排風管內。
12.3.7? 潔凈廠房內氣體報警裝置的聯動控制，應符合下列規定：
1? 應自動啟動相應的事故排風裝置；
2? 應自動關閉相關部位的進氣閥；
3? 應自動關閉相關部位的電動防火門、防火卷簾門；
4? 報警信號應發送至消防控制室和氣體控制室。應自動啟動泄漏現場的聲光警報裝置和應急廣播。
12.3.8? 潔凈廠房內易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應為其爆炸下限值或允許濃度值的20％。
12.4.4? 凈化空調系統采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯鎖控制，并應設置無風、超溫斷電保護；當采用電加濕器時，應設置無水、無風斷電保護。
13.2.1
2? 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5×104~1×109Ω；
3? 防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應為1×105~1×108Ω。
13.3.4? 對電子產品生產過程中產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道，應采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB 50058的有關規定。
