一．FFU產品要求：

1.風機和超高效(高效)過濾器安裝在鋅鋁合金涂層鋼板的機殼里。
2.尺寸大小適合1200x600mm的吊頂骨架
3.面風速范圍：0.45m/s±0.1 m/s
4.機外余壓：100Pa@0.45?m/s
5.工作臺上方600mm最大單機噪聲ㄑ52dB(A) @0.45 m/s，整體噪音需通過潔凈室第三方證。
6.風機采用EBM交流風機,風機連續使用壽命不小于50000小時
7.FFU在0.45m/s風速運行時，過濾器阻力不能高于130Pa。
8．FFU箱體不能貼任何消音棉，以避免以后產生揮發性物質影響產品品質。
9.高效過濾器效率：
核心區：MPPS效率≥99.99995%（@0.12μm）。

支援區：MPPS效率≥99.9995%（@0.12μm）。

10．濾紙使用進口（H&V、北越、lydall等）濾紙，以保證品質。
11.機箱結構：四角受支撐后，可承受大于80kg的重量站立在裝置的上方。
12.五檔調速控制。

二．FFU驗收要求：
必須配合潔凈室第三方認證。
1. 廠商需提供公司實績(半導體、TFT面板廠等相關產業).

2. 廠商需提供公司年營業額。

3. 廠商需提供售后服務計劃。

4. 廠商需提供產品交期及施工期。

5. 廠商需提供報價。