一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及FFU安裝技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體設(shè)備包括外殼，在外殼內(nèi)通常需要進(jìn)行濕法化學(xué)反應(yīng)，濕法化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生的氣體導(dǎo)致外殼內(nèi)部的工藝區(qū)域的氣體環(huán)境變得不純凈，為了讓外殼內(nèi)部維持純凈穩(wěn)定的氣體環(huán)境，通常需要在外殼上安裝FFU系統(tǒng)，利用FFU系統(tǒng)為外殼內(nèi)提供良好的氣氛，F(xiàn)FU系統(tǒng)包括FFU殼體；

外殼內(nèi)包括氣流空間、機(jī)器手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域，氣流空間位于機(jī)械手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域上方，F(xiàn)FU系統(tǒng)向外殼內(nèi)部提供氣流后，氣流先進(jìn)入氣流空間，然后進(jìn)入機(jī)器手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域，工藝槽體區(qū)域中會(huì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，化學(xué)反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生酸氣，酸氣會(huì)對(duì)FFU系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備造成腐蝕，因此需要通過FFU系統(tǒng)向外殼內(nèi)注入氣流以排除酸氣，酸氣一般會(huì)往上揮發(fā)，工藝槽體一側(cè)設(shè)置有抽氣區(qū)域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進(jìn)行排放處理，但仍有少部分酸氣會(huì)繼續(xù)往上揮發(fā)，從而進(jìn)入到機(jī)器手臂區(qū)域，腐蝕機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械，使得器械的使用壽命降低。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)，避免化學(xué)反應(yīng)后的酸氣進(jìn)入機(jī)器手臂區(qū)域，對(duì)器械造成腐蝕。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案：一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)，包括氣流空間，所述氣流空間位于外殼頂部，所述氣流空間內(nèi)設(shè)置有分隔部和導(dǎo)流部，所述分隔部包括分隔板，所述分隔板將所述氣流空間分隔成第一空間和第二空間，機(jī)器手臂區(qū)域位于所述第一空間下方，工藝槽體區(qū)域位于所述第二空間下方，所述導(dǎo)流部包括第一導(dǎo)流板和第二導(dǎo)流板，所述第一導(dǎo)流板位于所述第一空間內(nèi)，所述第二導(dǎo)流板位于所述第二空間內(nèi)，所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板均傾斜設(shè)置，所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板的一端均與所述外殼頂壁固定連接，所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板靠近所述外殼頂面的一端之間的距離大于所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板遠(yuǎn)離所述外殼頂面的一端之間的距離，工藝槽體區(qū)域內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)之后，酸氣向上揮發(fā)至所述第二空間，通過所述分隔板使得酸氣難以進(jìn)入所述第一空間，使得機(jī)器手臂區(qū)域的器械不受腐蝕，F(xiàn)FU系統(tǒng)中的氣流從上往下流經(jīng)所述第二導(dǎo)流板之后，氣流的流速變快，從而帶動(dòng)酸氣遠(yuǎn)離所述第二空間。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，外殼上設(shè)置有氣氛部，氣氛部包括第一氣氛導(dǎo)流孔和第二氣氛導(dǎo)流孔，所述第一氣氛導(dǎo)流孔和所述第二氣氛導(dǎo)流孔均開設(shè)于外殼頂面，所述第一氣氛導(dǎo)流孔與所述第一空間相互貫通，所述第二氣氛導(dǎo)流孔與所述第二空間相互貫通，F(xiàn)FU系統(tǒng)向所述第一氣氛導(dǎo)流孔和所述第二氣氛導(dǎo)流孔內(nèi)通氣，使得氣體進(jìn)入外殼內(nèi)部。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述第一氣氛導(dǎo)流孔和所述第二氣氛導(dǎo)流孔之間形成有連接部，所述連接部包括第一連接板和第二連接板，所述第一連接板與所述第二連接板一體形成，所述第一連接板與所述外殼頂面平行，所述第一連接板與所述第二連接板相互垂直，所述分隔板和所述第一連接板均位于所述第二連接板同一側(cè)面，且所述分隔板位于所述第一連接板下方，所述分隔板與所述第一連接板的夾角角度為87度，通過所述分隔板將所述第一空間和所述第二空間分離，防止酸氣進(jìn)入所述第一空間。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述分隔板頂部開設(shè)有若干個(gè)第一固定孔，所述第二連接板底部開設(shè)有若干個(gè)第二固定孔，所述第一固定孔和所述第二固定孔一一對(duì)應(yīng),使得所述分隔板與所述第二連接板可以相互固定。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述第一導(dǎo)流板和所述第二導(dǎo)流板與所述外殼頂面之間的夾角角度均為45度。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型通過在氣流空間內(nèi)設(shè)置分隔部和導(dǎo)流部，通過分隔板將氣流空間分成第一空間和第二空間，機(jī)器手臂區(qū)域位于第一空間下方，工藝槽體區(qū)域位于第二空間下方，工藝槽體區(qū)域內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)之后，酸氣向上揮發(fā)至第二空間，通過分隔板使得酸氣難以進(jìn)入第一空間，使得機(jī)器手臂區(qū)域的器械不受腐蝕，將第一導(dǎo)流板設(shè)置于第一空間內(nèi)，將第二導(dǎo)流板設(shè)置于第二空間內(nèi)，且第一導(dǎo)流板和第二導(dǎo)流板均傾斜設(shè)置，F(xiàn)FU系統(tǒng)中的氣流從上往下流經(jīng)第二導(dǎo)流板之后，氣流的流速變快，從而帶動(dòng)酸氣遠(yuǎn)離第二空間。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型圖1中A處的放大結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記：1、氣流空間；11、第一空間；12、第二空間；2、分隔部；21、分隔板；3、導(dǎo)流部；31、第一導(dǎo)流板；32、第二導(dǎo)流板；4、氣氛部；41、第一氣氛導(dǎo)流孔；42、第二氣氛導(dǎo)流孔；5、連接部；51、第一連接板；52、第二連接板。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。其中相同的零部件用相同的附圖標(biāo)記表示。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“底面”和“頂面”、“內(nèi)”和“外”分別指的是朝向或遠(yuǎn)離特定部件幾何中心的方向。

參照?qǐng)D1、圖2所示，本實(shí)施例的一種具有良好導(dǎo)流功能的FFU系統(tǒng)安裝結(jié)構(gòu)，包括氣流空間1，氣流空間1位于機(jī)械手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域上方，工藝槽體區(qū)域中會(huì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，化學(xué)反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生酸氣，酸氣一般會(huì)往上揮發(fā)，工藝槽體一側(cè)設(shè)置有抽氣區(qū)域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進(jìn)行排放處理，但仍有少部分酸氣會(huì)繼續(xù)往上揮發(fā)，進(jìn)入第二空間12，然后通過第一空間11和第二空間12之間的間隙，進(jìn)入第一空間11，最后進(jìn)入機(jī)器手臂區(qū)域?qū)ζ餍颠M(jìn)行腐蝕，使得器械的耐久度降低。外殼上設(shè)置有氣氛部4，由于酸氣會(huì)對(duì)設(shè)備造成腐蝕，因此需要對(duì)酸氣進(jìn)行處理，通過在外殼上設(shè)置FFU系統(tǒng)，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過氣氛部4向外殼內(nèi)注入氣流，同時(shí)在抽氣區(qū)域的作用下對(duì)酸氣進(jìn)行排除，氣氛部4包括第一氣氛導(dǎo)流孔41和第二氣氛導(dǎo)流孔42，通過設(shè)置兩個(gè)導(dǎo)流孔，使得FFU系統(tǒng)向殼體內(nèi)注入的氣流可以被分成兩股氣流，一股氣流通過第一導(dǎo)流板31進(jìn)入第一空間11，另一股氣流通過第二導(dǎo)流板32進(jìn)入第二空間12，且兩股氣流在分隔板21的隔離作用下減少了相互擴(kuò)散的氣體，當(dāng)酸氣揮發(fā)向上彌漫至第二空間12時(shí)，F(xiàn)FU系統(tǒng)向第二空間12內(nèi)注入的氣流可以將酸氣一起帶回至工藝槽體區(qū)域上方，然后在抽氣區(qū)域的作用下，將酸氣帶至外殼外部，使得酸氣無法進(jìn)入機(jī)器手臂區(qū)域腐蝕器械。第一氣氛導(dǎo)流孔41和第二氣氛導(dǎo)流孔42均開設(shè)于外殼頂面，第一氣氛導(dǎo)流孔41與第一空間11相互貫通，第二氣氛導(dǎo)流孔42與第二空間12相互貫通。FFU系統(tǒng)位于外殼上方，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔41和第二氣氛導(dǎo)流孔42與外殼內(nèi)部相互貫通，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔41向第一空間11內(nèi)通氣，通過第二氣氛導(dǎo)流孔42向第二空間12內(nèi)通氣，以使酸氣無法在第一空間11和第二空間12停留，以保護(hù)器械不受損傷，氣流空間1位于外殼頂部，氣流空間1內(nèi)設(shè)置有分隔部2和導(dǎo)流部3，通過設(shè)置分隔部2，使得第一空間11和第二空間12內(nèi)的氣體難以相互流通，阻擋了酸氣通過第一空間11進(jìn)入第二空間12，通過設(shè)置導(dǎo)流部3，可以FFU系統(tǒng)向第一空間11和第二空間12內(nèi)注入的氣流的流速，使得第一空間11和第二空間12內(nèi)的酸氣在流速較快的氣體的作用下，流回工藝槽體區(qū)域上方，進(jìn)而通過抽氣區(qū)域進(jìn)行抽離，防止污染器械，分隔部2包括分隔板21，分隔板21將氣流空間1分隔成第一空間11和第二空間12，機(jī)器手臂區(qū)域位于第一空間11下方，工藝槽體區(qū)域位于第二空間12下方，第一空間11內(nèi)的氣流通過第一空間11后向機(jī)器手臂區(qū)域流通，第二空間12內(nèi)的氣流通過第二空間12后向工藝槽體區(qū)域流通，工藝槽體區(qū)域內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)之后，酸氣向上揮發(fā)至第二空間12，通過分隔板21使得酸氣難以進(jìn)入第一空間11，使得機(jī)器手臂區(qū)域的器械不受腐蝕，導(dǎo)流部3包括第一導(dǎo)流板31和第二導(dǎo)流板32，第一導(dǎo)流板31位于第一空間11內(nèi)，第一導(dǎo)流板31傾斜設(shè)置，第一導(dǎo)流板31與第二連接板52之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來越小，當(dāng)FFU系統(tǒng)的氣體從上往下經(jīng)過第一導(dǎo)流板31時(shí)，氣流流通的空間越來越小，因此氣流的流速會(huì)變快，第一空間11與第二空間12的間隙靠近第一空間11處的氣體流速快，第一空間11與第二空間12之間的間隙處的酸氣的流速緩慢，因此酸氣無法通過第一空間11與第二空間12之間的間隙進(jìn)入第一空間11，無法腐蝕機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械，第二導(dǎo)流板32位于第二空間12內(nèi)，由于第二導(dǎo)流板32傾斜設(shè)置，第二導(dǎo)流板32與第二連接板52之間的距離沿外殼頂部至外殼底部越來越小，當(dāng)FFU系統(tǒng)的氣體從上往下經(jīng)過第二導(dǎo)流板32時(shí)，氣流流通的空間越來越小，因此氣流的流速會(huì)變快，第二空間12內(nèi)的酸氣的流速較為緩慢，從而將第二空間12內(nèi)的酸氣一起帶離第二空間12，并進(jìn)行抽除，使得酸氣無法與機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械接觸，第一導(dǎo)流板31和第二導(dǎo)流板32均傾斜設(shè)置，第一導(dǎo)流板31和第二導(dǎo)流板32的一端均與外殼頂壁固定連接，第一導(dǎo)流板31和第二導(dǎo)流板32靠近外殼頂面的一端之間的距離大于第一導(dǎo)流板31和第二導(dǎo)流板32遠(yuǎn)離外殼頂面的一端之間的距離。第一導(dǎo)流板31和第二導(dǎo)流板32與外殼頂面之間的夾角角度均為45度，將夾角角度設(shè)為45度，可以使得氣流獲得較大的流速，足以將酸氣帶回工藝槽體區(qū)域上方，進(jìn)行抽氣處理，第一氣氛導(dǎo)流孔41和第二氣氛導(dǎo)流孔42之間形成有連接部5，連接部5包括第一連接板51和第二連接板52，第一連接板51用以固定第二連接板52，第二連接板52用以固定分隔板21，第一連接板51與第二連接板52一體形成，第一連接板51與外殼頂面平行，第一連接板51與第二連接板52相互垂直，分隔板21和第一連接板51均位于第二連接板52同一側(cè)面，且分隔板21位于第一連接板51下方，使得分隔板21可以向下延伸，將氣流空間1分為第一空間11和第二空間12，以使氣流分流對(duì)酸氣進(jìn)行處理，分隔板21與第一連接板51的夾角角度為87度，第一連接板51與靠近第一空間11的外殼內(nèi)壁之間的距離沿外殼頂部至外殼底部減小，當(dāng)?shù)谝豢臻g11內(nèi)的氣流從上往下經(jīng)過分隔板21時(shí)，氣流的流速進(jìn)一步加快，第一空間11與第二空間12之間的間隙處的酸氣的流速緩慢，因此酸氣無法通過第一空間11與第二空間12之間的間隙進(jìn)入第一空間11，無法腐蝕機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械，分隔板21頂部開設(shè)有若干個(gè)第一固定孔，第二連接板52底部開設(shè)有若干個(gè)第二固定孔，第一固定孔和第二固定孔一一對(duì)應(yīng)，當(dāng)需要將分隔板21固定在第二連接板52上時(shí)，操作人員使用螺栓依次穿過相對(duì)應(yīng)的第一固定孔和第二固定孔，使得分隔板21與第二連接板52固定連接。

工作原理：氣流空間1位于機(jī)械手臂區(qū)域和工藝槽體區(qū)域上方，工藝槽體區(qū)域中會(huì)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，化學(xué)反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生酸氣，酸氣會(huì)對(duì)設(shè)備造成腐蝕，因此需要通過FFU系統(tǒng)向外殼內(nèi)注入氣流以排除酸氣，酸氣一般會(huì)往上揮發(fā)，工藝槽體一側(cè)設(shè)置有抽氣區(qū)域，可以將部分酸氣抽至外殼外部進(jìn)行排放處理，但仍有少部分酸氣會(huì)繼續(xù)往上揮發(fā)進(jìn)入第二空間12，通過第二空間12進(jìn)入第一空間11，從而進(jìn)入到機(jī)器手臂區(qū)域，腐蝕機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械，F(xiàn)FU系統(tǒng)位于外殼上方，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔41和第二氣氛導(dǎo)流孔42與外殼內(nèi)部相互貫通，F(xiàn)FU系統(tǒng)通過第一氣氛導(dǎo)流孔41向第一空間11內(nèi)通氣，通過第二氣氛導(dǎo)流孔42向第二空間12內(nèi)通氣，第一空間11內(nèi)的氣流通過第一空間11后向機(jī)器手臂區(qū)域流通，第二空間12內(nèi)的氣流通過第二空間12后向工藝槽體區(qū)域流通，工藝槽體區(qū)域內(nèi)進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)之后，酸氣向上揮發(fā)至第二空間12，通過分隔板21使得酸氣難以進(jìn)入第一空間11，使得機(jī)器手臂區(qū)域的器械不受腐蝕，第一導(dǎo)流板31傾斜設(shè)置，氣流從上往下流經(jīng)第一導(dǎo)流板31后，氣流的速度變快，從而防止第二空間12中的酸氣進(jìn)入第一空間11，腐蝕機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械，第二導(dǎo)流板32傾斜設(shè)置，氣流從上往下流經(jīng)第二導(dǎo)流板32后，氣流的速度變快，從而將第二空間12內(nèi)的酸氣一起帶離第二空間12，使得酸氣無法與機(jī)器手臂區(qū)域內(nèi)的器械接觸。

以上僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不僅局限于上述實(shí)施例，凡屬于本實(shí)用新型思路下的技術(shù)方案均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理前提下的若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。