一 氣流速度過低

1.通過電腦調大FFU的轉速百分比，以增大風機葉輪的輸出風量。

2.檢查電源是否為正確的電壓、電流和頻率。

3.如果氣流速度仍然很低，請更換HEPA/ULPA過濾器。

二 氣流速度過高

通過電腦調小FFU的轉速百分比，以減小風機葉輪的輸出風量。

三 氣流為非層流及/或雜質過多

1.確保在氣流通道的上游沒有大型的障礙物阻塞氣流。

2.判斷在同一清潔室或附近沒有其它氣流設備會影響氣流的正常流動。

3.檢查氣流速度，如果太低，則執行上文“氣流速度過低”中的步驟調大氣流。

4.對高效過濾器進行煙示氣流及光度計測試。必要時密封或更換HEPA/ULPA過濾器。