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FFU層流置專題
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FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組使用維護(hù)說(shuō)明書

2025-11-13

FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組使用維護(hù)說(shuō)明書

????????????????????????????執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):Q/320500BSK 010-2004

FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組

 

安裝?使用?維護(hù)說(shuō)明書

 

請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說(shuō)明書,并妥善保存,以備日后維護(hù)時(shí)參考。

 

 

 

 

 

????

1.????概述

1-1風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元………………………………………………………………………………………………………………?3

1-2結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)…………………………………………………………………………………………………………………….?4

2.????重要安全事項(xiàng)

2-1安裝使用環(huán)境………………………………………………………………………………………………………………….?5

2-2運(yùn)送與安裝…………………………………………………………………………………………………………………….?5

2-3安裝?使用注意事項(xiàng)……………………………………………………………………………………………………….?5

3.????使用說(shuō)明

3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前點(diǎn)檢事項(xiàng)………………………………………………………………………………………………………………?6

3-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)………………………………………………………………………………………………………………?6

4.????維護(hù)說(shuō)明

4-1日常維護(hù)………………………………………………………………………………………………………………………..?7

4-2定期維護(hù)………………………………………………………………………………………………………………………..?7

4-3故障排除………………………………………………………………………………………………………………………..?8

? ? ?附……………………………………………………………………………………………………………………?9

本說(shuō)明書內(nèi)容包含風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的安裝?使用?維護(hù)?方法,本機(jī)體是安裝在潔凈區(qū)域天花板上,藉由濾網(wǎng)捕捉室內(nèi)空氣中的塵埃,為能平穩(wěn)且安全地發(fā)揮機(jī)體性能,使用前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀此說(shuō)明書。

 

 

1.概述

1-1風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元

風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元(FFU)是一種自帶動(dòng)力、具有過(guò)濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。

風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過(guò)濾,過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。

●使用環(huán)境

?周圍溫度:5℃~40℃

?濕度:低于85%RH(沒(méi)有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)

?周圍空氣:一般室內(nèi)空氣

?清凈度:100-10級(jí)

?請(qǐng)避免連續(xù)反復(fù)ON/OFF操作機(jī)體

 

如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組,將會(huì)影響制品性能,并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象,造成電氣部件損壞,縮短制品使用壽命。

為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元請(qǐng)參閱第4頁(yè)的?重要安全事項(xiàng)?。
1-2
結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)

(1)?主要部件

FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組結(jié)構(gòu)” alt=”FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組結(jié)構(gòu)” />

圖1??標(biāo)準(zhǔn)品范例

FFU結(jié)構(gòu)

 

(2)?表1.?部件明稱及功能(參考圖1)

 

No.

部?品?名?稱

功????????????用

備??注

1

初效濾網(wǎng) 可有效攔截粒徑≥5um的灰塵 根據(jù)環(huán)境可用可不用

2

外殼 設(shè)備外殼

可選優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料

3

把手 方便搬運(yùn)

4

吊環(huán) 機(jī)體吊裝

選配件

5

導(dǎo)流消聲裝置 引導(dǎo)氣流及消除噪聲

6

風(fēng)機(jī)系統(tǒng) 為設(shè)備提供動(dòng)力

風(fēng)機(jī)選用美日合資M-R電機(jī)

7

高效濾網(wǎng) 可過(guò)濾微小粒徑的灰塵

效率99.99%@ 0. 3um

可選各種效率的濾網(wǎng)

8

控制系統(tǒng) 調(diào)速及開(kāi)關(guān)電源

 

2.重要安全事項(xiàng)

 

不當(dāng)使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元組將會(huì)造成制品性能降低,使用時(shí)請(qǐng)務(wù)必遵守下列事項(xiàng):

2-1?安裝使用環(huán)境

●風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。

●?設(shè)置風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元場(chǎng)所不可放置易燃物,以免發(fā)生火災(zāi)。

●?請(qǐng)勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品,如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。

●?請(qǐng)勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品,如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。

 

2-2?運(yùn)送與安裝

●?請(qǐng)?jiān)陲L(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品,搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平,如果使用輕便推車等工具運(yùn)送時(shí),請(qǐng)選用車臺(tái)超過(guò)機(jī)體包裝寬度的推車。

●?機(jī)體安裝后,機(jī)體上方至少須預(yù)留30公分以上的空間,以利將來(lái)機(jī)體維修,未預(yù)留足夠的維修空間,機(jī)體將無(wú)法進(jìn)行維修及部件更換。

●?試運(yùn)轉(zhuǎn)前,請(qǐng)先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。

?

2-3?安裝?使用注意事項(xiàng)

●風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元安裝于無(wú)塵室時(shí),請(qǐng)務(wù)必遵守下列指示

?當(dāng)進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)

請(qǐng)穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

請(qǐng)以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

請(qǐng)以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。

點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。

 

●?切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元機(jī)體,以免造成機(jī)體變形。

 

●?請(qǐng)勿以沾濕的手操作機(jī)體,以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。

 

●?請(qǐng)勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口,機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽,將導(dǎo)致機(jī)體性能無(wú)法正常發(fā)揮,造成機(jī)體功能異常或電氣部件損壞。

 

●?實(shí)施第三種接地工事,以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。

 

 

3.安裝使用

 

?

3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)

運(yùn)轉(zhuǎn)前請(qǐng)先檢查下列注意事項(xiàng):

●?機(jī)體外部電源是否連接,電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。

●?機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。

●?機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。

3-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)

(1)?開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)

●?當(dāng)電源開(kāi)啟后,機(jī)體即開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)。

●?機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請(qǐng)確認(rèn)是否有異常現(xiàn)象。

當(dāng)有下列情形發(fā)生,機(jī)體無(wú)法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),請(qǐng)向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。

●?機(jī)體內(nèi)部有異物,機(jī)體離心風(fēng)扇無(wú)法正常旋轉(zhuǎn)。

●?機(jī)體內(nèi)部電線脫落,接頭松脫。

●?機(jī)體內(nèi)部電氣部件,如過(guò)電源插頭、馬達(dá)損壞。

(2)?停止運(yùn)轉(zhuǎn)

●?運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象,請(qǐng)即切斷電源,停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。

 

 

 

4.維修?點(diǎn)檢

 

 

●?自購(gòu)買日起進(jìn)行定期檢查,請(qǐng)勿自行檢查,以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。

●?除了維修人員外,請(qǐng)勿自行拆解、修理或變更規(guī)格,以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。

●?當(dāng)更換濾網(wǎng)等部件時(shí),請(qǐng)注意不要損壞濾紙。

●?維修?點(diǎn)檢時(shí),請(qǐng)務(wù)必先切斷電源,停止機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)后再實(shí)施,以免發(fā)生觸電或傷害危險(xiǎn)。

●?當(dāng)安裝?維修?點(diǎn)檢完成后,在機(jī)體起動(dòng)前,請(qǐng)確定機(jī)體基礎(chǔ)穩(wěn)固。

 

 

 

 

 

4-1日常維護(hù)

每天工作開(kāi)始之前請(qǐng)依表2.點(diǎn)檢下列各項(xiàng),當(dāng)發(fā)現(xiàn)有不正常的情形,立即切斷電源并采取改正措施。

表2.?日常維護(hù)

 

NO.

點(diǎn)檢專案

判斷標(biāo)準(zhǔn)

1

離心風(fēng)扇及馬達(dá) ?離心風(fēng)扇必須旋轉(zhuǎn)平順,沒(méi)有產(chǎn)生異常聲音,若聽(tīng)到異常聲音,請(qǐng)確認(rèn)送風(fēng)機(jī)內(nèi)有無(wú)異物以及馬達(dá)軸承的聲音是否異常,若馬達(dá)有問(wèn)題,請(qǐng)更換馬達(dá)。

2

濾網(wǎng) ?濾網(wǎng)表面有無(wú)損傷、污點(diǎn)、骯臟….等

3

機(jī)體外觀 ?機(jī)體外觀有無(wú)損傷

 

4-2定期維護(hù)

使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元一段時(shí)間后,因使用環(huán)境及使用狀況之差異,為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn),請(qǐng)務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。

4-2.1定期維護(hù)

(1)定期維護(hù)項(xiàng)目
請(qǐng)依表3.所示,對(duì)風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢,當(dāng)部件壽命已至?xí)r,請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命,會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。

(2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發(fā)生,停機(jī)再啟動(dòng)后,請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。

 

3.?定期維護(hù)項(xiàng)目

 

部件位置

征兆及可能原因

評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),確認(rèn)點(diǎn)

檢查頻率

部件壽命

馬達(dá) (1)軸承損壞而使馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)不平順或死鎖。

(2)絕緣不良造成過(guò)熱、過(guò)載導(dǎo)致線圈燒損。

(3)電源連接或端子的絕緣不良,而造成異常發(fā)熱、接地錯(cuò)誤、層間短路…..等。

?確認(rèn)馬達(dá)有無(wú)異音、振動(dòng)及味道,用耳朵確認(rèn)軸承有無(wú)異常聲音。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?檢查電纜線及端子有無(wú)破損或銹蝕,更換不良部件。

一年一次

5年以上

離心風(fēng)扇 (1)因灰塵迭積或破損使得運(yùn)轉(zhuǎn)不平衡而損壞。 ?檢查離心風(fēng)扇有無(wú)異音、振動(dòng)及破損,更換不良部件。 一年一次

5年

其它的電氣部件及配線材料 (1)絕緣不良,端子螺絲松脫而造成過(guò)熱、短路或燒損。

(2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。

?檢查有無(wú)過(guò)熱、銹蝕、暴露的導(dǎo)體,配線表皮破損…..等。

?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。

?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。

一年一次

5年

濾網(wǎng) (1)因阻塞而造成風(fēng)速減低。

(2)因化學(xué)藥品而造成濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。

(3)因外部熱源造成濾網(wǎng)材質(zhì)不良。

?目視檢查濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙有無(wú)刮傷、褪色、變形。

?檢查泄漏更換不良部件。

一年一次

?(視不同使用場(chǎng)所需要而定)

外箱

及其它組件

因化學(xué)藥品而使部件腐蝕或生銹產(chǎn)生灰塵。

 

?目視檢查部件有無(wú)不良、褪色….等。 一年一次

其它部件8年

 

4消耗性部件的更換期間?(?我司建議?)

 

 

部??品

更?換?期?間

濾網(wǎng)

1-2年(室內(nèi)清凈度100,000級(jí)的場(chǎng)所)??

初效濾網(wǎng)

每3個(gè)月(不同場(chǎng)所而有所區(qū)別)

馬達(dá)

5年以上

 

注:濾網(wǎng)更換期間會(huì)因不同使用場(chǎng)所的差異而有所不同。

4.2.2點(diǎn)檢完成

點(diǎn)檢完成后,清潔工作場(chǎng)所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況;保留點(diǎn)檢報(bào)告,當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。

4-3故障排除

?若有以下現(xiàn)象發(fā)生,連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號(hào)、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì)),然后慎重的調(diào)查問(wèn)題的起因及采取適合的改善措施。

 

現(xiàn)????象

可??能??原??因

改??善??措??施

離心風(fēng)扇不運(yùn)轉(zhuǎn) ?電源未打開(kāi)

?馬達(dá)束心

?電器件損壞

?馬達(dá)不良

?打開(kāi)電源

?拆除外表的異物

?更換電器件

?更換馬達(dá)

離心風(fēng)扇產(chǎn)生異常者(運(yùn)轉(zhuǎn)中) ?馬達(dá)外殼與離心風(fēng)扇接觸 ?連絡(luò)經(jīng)銷商及采取適合的改善措施

 

 

●?非服務(wù)技術(shù)人員請(qǐng)勿拆解、修理或修改風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元,以避免造成嚴(yán)重的意外,例如觸電或火災(zāi)。

 

 

 

 

附錄

易損件規(guī)格表:

序號(hào) 名稱 規(guī)格型號(hào) 單位 單臺(tái)數(shù) 備注

1

風(fēng)機(jī) M-R風(fēng)機(jī) 臺(tái)

1

 保修期:三年

2

電容 4uf,500V

1

 

3

玻纖無(wú)隔板過(guò)濾器   個(gè)

1

99.99%@o.3um

4

初效過(guò)濾器   個(gè)

1

 可清洗

 

●?當(dāng)需要更換服務(wù)備品時(shí),請(qǐng)務(wù)必依本說(shuō)明書中表1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。

●?任何未經(jīng)認(rèn)可之代用品,不僅可能會(huì)影響風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的性能,同時(shí)可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險(xiǎn)。

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